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正性光刻膠
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產(chǎn)品特點(diǎn):靈敏度高,分辨率高,耐干法腐蝕,最小分辨率可達(dá)0.5μm
應(yīng)用于:Sun-110P是一款適合6寸及以上規(guī)模集成電路的I-line光刻膠